谢建兵

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谢建兵,生于1980年11月,研究生、博士学位,现任西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室副教授[1] 
中文名
谢建兵
生    于
1980年11月
学    位
研究生、博士学位
职    位
西北工业大学副教授

谢建兵基本资料

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主要研究方向为微机电系统惯性传感器设计及微机械加工工艺技术,设计开发了多种微机械陀螺、微加速度计,申请国家发明专利25项,授权16项。

谢建兵论文代表作

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1) Jianbing Xie, yongcun Hao, qiang Shen, Honglong Chang and weizheng Yuan, A dicing-free SOI process for MEMS devices based on the lag effect, Journal of Micromechanics and Microengineering, 23 (2013) 125033, doi:10.1088/0960-1317/23/12/125033 (SCI, EI)
2) Jianbing Xie, Qiang Shen, Yongcun Hao, Honglong Chang, Weizheng Yuan, Design, fabrication and characterization of a low-noise Z-axis micromachined gyroscope, Microsystem Technologies, doi: 10.1007/s00542-014-2068-0, 2014(SCI, EI)
3) Jianbing XIE, Weizheng YUAN, Honglong CHANG, Design and Fabrication of MEMS Gyroscopes on the SOI Substrate with Decoupled Oscillation Modes,Chinese Journal of Mechanical Engineering, vol 23. 2010(1). pp. 16-20. (SCI, EI)
4) Jianbing XIE, Yongcun HAO, Honglong CHANG, Weizheng YUAN, Single Mask Selective Release Process for Complex SOI MEMS Device, Key Engineering Materials, vol.562, pp1116-1121, 2013 (EI)
5) XIE Jianbing, SONG Meng, YUAN Weizheng , A high sensitivity micromachined accelerometer with an enhanced inertial mass SOI MEMS process, Proceedings of 8th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS), pp336-339, Suzhou, China, 2013.04.07-10 (EI)
6) Jianbing XIE,Weizheng YUAN,Honglong CHANG,The application of notching effect in one-step dry etch and release process for the fabrication of MEMS,Nanotechnology and Precision Engineering,vol 8. 2010(2). pp. 167-170. (EI)

谢建兵获奖情况

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1. MEMS集成设计工具技术及应用,陕西省科学技术一等奖,2009.
2. 任意流程的微机电系统设计工具技术及应用,中国机械工业科学技术一等奖,2008.
参考资料
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高等教育 西北工业大学 行业人物 科学人物 教师 微机电系统 人物